Технология материалов и изделий электронной техники (часть 2)

4 Основы технологии изготовления приборов и устройств вакуумной, плазменной, твердотельной и микроэлектроники

4.1 Технология производства электровакуумных приборов

4.2 Технология изготовления газопоглотителей

4.3 Технология изготовления электронно-лучевых трубок

4.4 Технология изготовления приборов плазменной электроники

4.5 Технология изготовления твердотельных электронных приборов

4.6 Планарная технология изготовления электронных приборов

4.7 Планарно-эпитаксиальная технология изготовления твердотельных электронных приборов

4.8 Технология элементов наноэлектроники, молекулярной электроники и квантовых транзисторов

4.9 Технология формирования акустоэлектронных элементов на поверхностных акустических волнах (ПАВ)

4.10 Пути повышения радиационной стойкости электронных приборов

4.11 Контрольные вопросы к главе 4

5 Основы автоматизации в технологии производства материалов и изделий электронной техники

5.1 Подобие технологических процессов

5.2 Языки пользователя для программирования электрофизических установок

5.3 Пневматические устройства управления

5.4 Порядки и типы управляющих систем технологического оборудования

5.5 Устойчивость технологических процессов

5.6 Анализ сложных технологических систем

5.7 Системы регистрации и первичной обработки сигналов

5.8 Регулирование технологических процессов

5.9 Технология обработки сигналов с технологических объектов

5.10 Числовое программное управление в технологии обработки материалов

5.11 Оптимизация технологических процессов

5.12 Робототехнические комплексы и автоматизированные рабочие места

5.13 Системы «КАМАК» и «АРМ» для автоматического регулирования технологических процессов

5.14 Контрольные вопросы к главе 5

6 Эксплуатация и сервисное обслуживание технологического оборудования

6.1 Правила оформления документов для технологических процессов

6.2 Общее сервисное обслуживание оборудования

6.3 Сервисное обслуживание различных типов вакуумных установок

6.4 Сервисное обслуживание вакуумных насосов

6.5 Монтаж вакуумных коммуникаций

6.6 Сервисное обслуживание электрооборудования вакуумных установок

6.7 Сервис отдельных блоков электрофизических установок

6.8 Сервисное обслуживание систем очистки воздуха

6.9 Сервисное обслуживание специальных установок

6.10 Эксплуатация и сервисное обслуживание установок нанотехнологии типа Катунь

6.11 Методы измерения скорости формирования толщины пленок

6.12 Контрольные вопросы к главе 6

7 Заключение

8 Список рекомендуемой литературы