Технология материалов и изделий электронной техники (часть 1)

Введение

1 Физико-химические основы технологических процессов в производстве материалов и изделий электронной техники

1.1 Металлы и сплавы, их производство и применение

1.2 Физико-химические процессы получения некоторых полупроводниковых кристаллических материалов

1.3 Физико-химические процессы производства диэлектрических материалов

1.4 Порошковая технология

1.5 Физико-химические процессы получения газообразных и жидких материалов

1.6 Подготовка материалов к технологическим операциям

1.7 Физико-химические методы формирования пленочных материалов на элементах электронных приборов

1.8 Физико-химические процессы получения наноматериалов

1.9 Основы построения технологических процессов

1.10 Контрольные вопросы

2 Основы кинетики технологических процессов

2.1 Уравнение состояния процесса

2.2 Кинетическое уравнение элементарного технологического процесса откачки газа

2.3 Кинетика термического испарения материалов в вакууме

2.4 Физико-химические процессы кинетики конденсации пленок

2.5 Поверхностные и диффузионные явления при проведении технологических операций

2.6 Диффузионные явления в технологических процессах

2.7 Диффузионное газовыделение

2.8 Поверхностная диффузия при формировании пленок

2.9 Объемная диффузия при легировании материалов

2.10 Определение механизма диффузии газов из материала

2.11 Межфазные взаимодействия в технологических процессах

2.12 Теплота, внутренняя энергия, энтальпия, энтропия, свободная энергия

2.13 Фазовая диаграмма

2.14 Применение теории межфазных взаимодействий при формировании высококачественных пленок

2.15 Кинетика процесса молякулярно-лучевой эпитаксии

2.16 Фазовая диаграмма процесса роста эпитаксиальных пленок

2.17 Контрольные вопросы

3 Физические основы вакуумной, ионно-плазменной, электронно-лучевой и лазерной технологии

3.1 Вакуумная технология

3.2 Лазерная технология

3.3 Электронно-лучевая технология

3.4 Ионно-лучевая технология

3.5 Плазменная технология

3.6 Применение потоков электронов ионов и плазмы в упрочняющих технологиях

3.7 Контрольные вопросы к главе 3

Список рекомендуемой литературы