Исследование процесса электронно-лучевой обработки материалов в безмасляном вакууме

Методические указания к лабораторной работе

В данной работе исследуется обработка материала в безмасляном вакууме с помощью электронного луча. Проводится анализ вакуумной среды, содержащей и не содержащей углеводороды на производство электронных приборо . Рассматриваются подходы к математическому моделированию процессов. Предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Фотоника и оптоэлектроника» по курсу «Основы технологии оптических материалов и изделий» и по направлению «Электроника и микроэлектроника» (специальность «Электронные приборы и устройства») по курсу «Технология материалов и изделий электронной техники».

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Орликов, Л. Н. Исследование процесса электронно-лучевой обработки материалов в безмасляном вакууме: Методические указания к лабораторной работе [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2012. — 17 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/1377
Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2012
Количество страниц: 17
Скачиваний: 6

Оглавление (содержание)

1 Введение

2 Теоретическая часть

2.1 Особенности процесса откачки

2.2 Средства для без масляной откачки газа

2.3 Электронно-лучевая обработка материалов

2.3.1 Выбор режимов обезгаживания деталей приборов

2.3.2 Особенности проведения техпроцессов для уменьшения влияния углеводородов

2.3.3 Выбор мощности электронного пучка

2.4 Контрольные вопросы

3 Экспериментальная часть

3.1 Оборудование

3.1.1 Вакуумное оборудование

3.1.2 Экспериментальная модель источника электронов

3.2 Порядок выполнения работы и методические указания

3.3 Задание на работу

3.4 Выключение установки

3.5 Вопросы для самопроверки

3.6 Содержанке отчета

Список литературы