Методические указания к лабораторной работе
Библиографическая запись:
Оглавление (содержание)
1 Введение
2 Теоретическая часть
2.1 Особенности процесса откачки
2.2 Средства для без масляной откачки газа
2.3 Электронно-лучевая обработка материалов
2.3.1 Выбор режимов обезгаживания деталей приборов
2.3.2 Особенности проведения техпроцессов для уменьшения влияния углеводородов
2.3.3 Выбор мощности электронного пучка
2.4 Контрольные вопросы
3 Экспериментальная часть
3.1 Оборудование
3.1.1 Вакуумное оборудование
3.1.2 Экспериментальная модель источника электронов
3.2 Порядок выполнения работы и методические указания
3.3 Задание на работу
3.4 Выключение установки
3.5 Вопросы для самопроверки
3.6 Содержанке отчета
Список литературы