Исследование процесса нанесения пленок магнетронным способом

Методические указания к лабораторной работе

Целью настоящей работы является изучение методов распыления в электрическом и магнитном поле (магнетронное распыление) и приемов работы на установках технологического назначения, ознакомление с принципами действия и основными характеристиками аппаратуры, применяемой для контроля технологических операций. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Фотоника и оптоинформатика» по курсу «Основы технологии оптических материалов и изделий».

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Орликов, Л. Н. Исследование процесса нанесения пленок магнетронным способом: Методические указания к лабораторной работе [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2012. — 23 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/1340
Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2012
Количество страниц: 23
Скачиваний: 11

Оглавление (содержание)

1 Введение

2 Основные вопросы теории

2.1 Особенности существования магнетронного разряда и принципиальная

схема магнетрона

2.2 Параметры магнетронных распылительных систем

2.3 Параметры плазмы

2.4 Магнитное поле магнетрона

2.5 Вольт-амперные характеристики магнетронных систем

2.6 Особенности конденсации ионнораспыленных атомов

2.7 Конструктивные схемы магнетронных систем

2.8 Геометрические параметры магнетронных систем

3 Экспериментальная часть

3.1 Вакуумное оборудование

3.2 Электронное оборудование

3.3 Порядок выполнения работы и методические указания

3.4 Вопросы для самопроверки

3.5 Содержание отчета

4 Рекомендуемая литература