Методические указания к лабораторной работе
Библиографическая запись:
Оглавление (содержание)
1 Введение
2 Основные вопросы теории
2.1 Особенности существования магнетронного разряда и принципиальная
схема магнетрона
2.2 Параметры магнетронных распылительных систем
2.3 Параметры плазмы
2.4 Магнитное поле магнетрона
2.5 Вольт-амперные характеристики магнетронных систем
2.6 Особенности конденсации ионнораспыленных атомов
2.7 Конструктивные схемы магнетронных систем
2.8 Геометрические параметры магнетронных систем
3 Экспериментальная часть
3.1 Вакуумное оборудование
3.2 Электронное оборудование
3.3 Порядок выполнения работы и методические указания
3.4 Вопросы для самопроверки
3.5 Содержание отчета
4 Рекомендуемая литература