Учебно-методическое пособие по выполнению лабораторных работ
Пособие является руководством для выполнения лабораторных работ по дисциплине «Основы технологии электронной компонентной базы». Кратко освещены теоретические вопросы об основных технологических операциях изготовления электронной компонентной базы, используемых при выполнении лабораторных работ, указан порядок выполнения лабораторных работ.
Для студентов высших учебных заведений технических специальностей.
Кафедра физической электроники
Библиографическая запись:
Данилина, Т. И. Основы технологии электронной компонентной базы: Учебно-методическое пособие по выполнению лабораторных работ [Электронный ресурс] / Т. И. Данилина, Ю. В. Сахаров. — Томск: ТУСУР, 2025. — 60 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/11220
Оглавление (содержание)
Лабораторная работа №1. Осаждение резистивных и проводящих пленок….............................................................… 4
Лабораторная работа №2. Изучение погрешности изготовления тонкопленочных резисторов……………………………23
Лабораторная работа №3. Изготовление и исследование тонкопленочных конденсаторов…………………………………32
Лабораторная работа №4. Технологический процесс фотолитографии…………………………......................…………………39
Лабораторная работа №5. Технология получения диффузионных p – n переходов……….………………………………………52
Пн. – пт., 8:30 – 17:30, обед, 13:00 – 14:00