Учебно-методическое пособие по выполнению лабораторных работ
Кратко освещены теоретические вопросы об элементах электронной компонентной базы микроэлектроники и микросистемной техники, исследуемых при выполнении лабораторных работ, указан порядок выполнения лабораторных работ, приведены требования к содержанию отчета. Пособие является руководством для выполнения лабораторных работ по дисциплине «Проектирование электронной компонентной базы микроэлектроники и микросистемной техники» и предназначено для студентов, обучающихся по образовательным программам подготовки бакалавров, магистров и дипломированных специалистов всех форм обучения.
Предназначено для студентов высших учебных заведений технических специальностей.
Кафедра физической электроники
Библиографическая запись:
Данилина, Т. И., Сахаров Ю.В. Проектирование электронной компонентной базы микроэлектроники и микросистемной техники: Учебно-методическое пособие по выполнению лабораторных работ [Электронный ресурс] / Т. И. Данилина, Ю. В. Сахаров. — Томск: ТУСУР, 2025. — 36 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/11210
Оглавление (содержание)
Лабораторная работа №1 "Исследование конструкции тонкопленочных конденсаторов"
Лабораторная работа №2 "Исследование конструкции тонкопленочных резисторов"
Лабораторная работа №3 "Исследование топологии гибридных интегральных схем"
Лабораторная работа №4 "Определение параметров тонких пленок
Пн. – пт., 8:30 – 17:30, обед, 13:00 – 14:00