Оборудование для электронно-лучевых и плазменных технологий в форвакууме

Введение 4

1 Форвакуумные плазменные электронные источники 5

2 Экспериментальные установки для обработки диэлектриков 10

2.1 Экспериментальная установка для получения диэлектрических покрытий 10

2.2 Экспериментальная установка для исследования плазмы и процессов азотирования поверхностей металлов 13

2.3 Экспериментальная установка для сварки и спекания диэлектриков 15

2.4 Экспериментальная установка для генерации ленточного электронного пучка и плазменной обработки 19

3 Диагностическое оборудование, используемое для исследования параметров электронного пучка и плазмы 26

3.1 Измерение параметров плазмы 26

3.2 Спектрометрические измерения параметров плазмы 32

3.3 Обращенный времяпролетный спектрометр 35

3.4 Масс-спектрометрия ионного состава плазмы на основе квадрупольного анализатора остаточной газовой атмосферы 41

3.5 Измерение плотности тока ленточного электронного пучка 47

3.6 Измерение диаметра и энергетического спектра электронного пучка 48

4 Исследование поверхностных свойств материалов 54

4.1 Метод лежащей капли 54

4.2 Спектроскопические методы анализа 56

4.3 Оборудование для диагностики параметров покрытий 57

Используемая литература 60