Физические основы электронно-ионно-лучевых и плазменных технологий

03.06.01 - Физика и астрономия (Физическая электроника)

Очная форма обучения, план набора 2017 г.

Изучается: 3 семестр

Цикл дисциплины: Б1. Блок 1 «Дисциплины (модули)»

Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.1.1

Обеспечивающая кафедра: Кафедра физической электроники

Дополнительная литература

Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учебное пособие / Т. И. Данилина, С. В. Смирнов ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУР, 2000. - 140 с.
Доступно в библиотеке: 52 экземляра

Учебно-методическое пособие

Сборник задач и расчетов по физической электронике : учебное пособие для вузов / С. М. Левитский. - Киев : Издательство Киевского университета, 1964. - 210[2] с. (пособие используется для практических занятий и самостоятельной работы)
Доступно в библиотеке: 14 экземпляров
Физическая электроника в задачах : сборник задач / Б. Н. Швилкин, Н. А. Мискинова. - М. : Наука, 1987. - 253[3] с. (пособие используется для практических занятий и самостоятельной работы)
Доступно в библиотеке: 4 экземляра

Контрольные испытания

Вид контроля Семестры
Дифференцированный зачет 3

Объем дисциплины и виды учебной деятельности

Вид учебной деятельности 1 семестр 2 семестр 3 семестр 4 семестр 5 семестр 6 семестр 7 семестр 8 семестр Всего Единицы
Лекция1818часов
Практическая работа1818часов
Всего аудиторных занятий3636часов
Самостоятельная работа7272часов
Общая трудоемкость108108часов
33З.Е

Компетенции

Код Содержание
ПК-3 способность теоретически и экспериментально исследовать и практически применять физические явления в твердотельных микро- и наноструктурах, а также исследовать воздействие различных видов излучений на модификацию их свойств