28.03.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) План в архиве
Очная форма обучения, план набора 2013 г.
Изучается: 5 семестр
Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)
Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.4.1
Обеспечивающая кафедра: Кафедра физической электроники
Рабочая программа
Основная литература
Электронные процессы в тонкопленочных структурах металл-диэлектрик-металл: монография / Г. А. Воробьев, П. Е. Троян; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. – Томск: ТУСУР, 2007. – 179
Доступно в библиотеке:
99
экземпляров
Тонкие пленки в микроэлектронике: учебное пособие / К. И. Смирнова; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. – Томск: ТУСУР, 2007. – 109 с.
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Дополнительная литература
Вакуумная техника в производстве интегральных схем / Б.С. Данилин; ред. Р.А. Нилендер. – М.: Энергия, 1972. – 253 с.
Доступно в библиотеке:
5
экземпляров
Пробой тонких диэлектрических пленок: научное издание / Г.А. Воробьев, В.А. Мухачев. – М.: Советское радио, 1977. – 69 с.
Доступно в библиотеке:
147
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Контрольные испытания
| Вид контроля | Семестры |
|---|---|
| Зачёт с оценкой | 5 |
Объем дисциплины и виды учебной деятельности
| Вид учебной деятельности | 1 семестр | 2 семестр | 3 семестр | 4 семестр | 5 семестр | 6 семестр | 7 семестр | 8 семестр | Всего | Единицы |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Практическая работа | 108 | 108 | часов | |||||||
| Всего аудиторных занятий | 108 | 108 | часов | |||||||
| Из них в интерактивной форме | 20 | 20 | часов | |||||||
| Самостоятельная работа | 108 | 108 | часов | |||||||
| Общая трудоемкость | 216 | 216 | часов | |||||||
| 6 | 6 | З.Е |
Компетенции
| Код | Содержание |
|---|---|
| ПК-1 | способностью проводить физико-математическое моделирование исследуемых процессов нанотехнологии и объектов нано- и микросистемной техники с использованием современных компьютерных технологий |
| ПК-2 | готовностью проводить экспериментальные исследования по синтезу и анализу материалов и компонентов нано- и микросистемной техники |
| ПК-3 | готовностью анализировать и систематизировать результаты исследований, представлять материалы в виде научных отчетов, публикаций, презентаций |