Сайты ТУСУРа

Методы исследования и анализа микро- и наноструктур (ГПО 2)

11.03.04 - Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) План в архиве

Очная форма обучения, план набора 2014 г.

Изучается: 5 семестр

Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)

Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.4.2

Обеспечивающая кафедра: Кафедра физической электроники

Основная литература

Смирнов С.В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: учебное пособие. - Томск: ТУСУР, 2010. - 115 с.
Доступно в библиотеке: 6 экземпляров

Дополнительная литература

Вилков Л.В., Пентин Ю.А. физические методы исследования в химии: Резонансные и электро-оптические методы: учебник для вузов. – М.: высшая школа, 1989. – 288 с.
Доступно в библиотеке: 1 экземпляр

Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности: научное издание. – М.: Мир, 1989. – 564 с.
Доступно в библиотеке: 5 экземпляров

Брандон Д., Капран У. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля: учебное пособие для вузов: пер. с англ.; ред. Пер. С.Л. Баженов, доп. К гл. 3 О.В. Егоров. – М.: Техносфера, 2004. – 377 с.
Доступно в библиотеке: 8 экземпляров

Брандон Д., Капран У. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля: Учебное пособие для вузов: Пер. с англ.; ред. Пер.: С.Л, Баженов; авт. Дополнения: О.В. Егорова. – М.: Техносфера, 2006. – 377 с.
Доступно в библиотеке: 5 экземпляров


Контрольные испытания

Вид контроля Семестры
Зачёт с оценкой 5

Объем дисциплины и виды учебной деятельности

Вид учебной деятельности 1 семестр 2 семестр 3 семестр 4 семестр 5 семестр 6 семестр 7 семестр 8 семестр Всего Единицы
Практическая работа108108часов
Всего аудиторных занятий108108часов
Из них в интерактивной форме1010часов
Самостоятельная работа108108часов
Общая трудоемкость216216часов
66З.Е

Компетенции

Код Содержание
ОПК-5 способностью использовать основные приемы обработки и представления экспериментальных данных
ПК-2 способностью аргументированно выбирать и реализовывать на практике эффективную методику экспериментального исследования параметров и характеристик приборов, схем, устройств и установок электроники и наноэлектроники различного функционального назначения
ПК-3 готовностью анализировать и систематизировать результаты исследований, представлять материалы в виде научных отчетов, публикаций, презентаций