Сайты ТУСУРа

Процессы микро- и нанотехнологии

11.03.04 - Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника)

Очная форма обучения, план набора 2023 г.

Изучается: 6, 7 семестр

Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)

Индекс дисциплины: Б1.В.02.12

Обеспечивающая кафедра: Кафедра физической электроники

Основная литература

Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Томск : ТУСУР, 2005. - 316 с.
Доступно в библиотеке: 103 экземляра

Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 183 с.
Доступно в библиотеке: 51 экземпляр

Дополнительная литература

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - (Нанотехнологии). Т. 2 : Технологические аспекты. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний , 2011. - 252 с.
Доступно в библиотеке: 45 экземпляров

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0. Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 392 с.
Доступно в библиотеке: 45 экземпляров

Микроэлектроника: Проектирование, виды микросхем, функциональная микроэлектроника : Учебное пособие для вузов / Иван Ефимович Ефимов, Иван Яковлевич Козырь, Ю.И. Горбунов. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Высшая школа, 1987. - 416 с.
Доступно в библиотеке: 34 экземляра

Учебно-методическое пособие

Процессы микро- и нанотехнологии : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 53 с.
Доступно в библиотеке: 47 экземпляров

Процессы микро- и нано-технологии : учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск), Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2006. - 21 с.
Доступно в библиотеке: 30 экземпляров


Контрольные испытания

Вид контроля Семестры
Экзамен 6
Курсовой проект 7

Объем дисциплины и виды учебной деятельности

Вид учебной деятельности 1 семестр 2 семестр 3 семестр 4 семестр 5 семестр 6 семестр 7 семестр 8 семестр Всего Единицы
Лекционные занятия3434часов
Практические занятия2828часов
↳ из них практическая подготовка2222часов
Курсовое проектирование1818часов
↳ из них практическая подготовка1818часов
Самостоятельная работа4654100часов
↳ из них практическая подготовка0часов
Подготовка и сдача экзамена/зачета3636часов
Общая трудоемкость14472216часов
426З.Е

Компетенции

Код Содержание
ПК-4 Способен выполнять работы по технологической подготовке производства материалов и изделий электронной техники
ПК-5 Способен организовывать метрологическое обеспечение производства материалов и изделий электронной техники
ПК-7 Способен к применению современных технологических процессов и технологического оборудования на этапах разработки и производства изделий микроэлектроники и твердотельной электроники