Коммерциализация методики определения элементного состава примесей на поверхности твердого тела с использование ядерных реакций

Статья в журнале

Описывается процесс коммерциализации методики определения элементного состава примесей на поверхности твердого тела с использованием ядерных реакций для контроля поверхности полупроводниковых тел. Целью данной работы являлось внедрение описываемой методики на предприятие полупроводниковой промышленности.

Журнал:

• vectoreconomy
• Электронный научный журнал "Вектор экономики" (Пермь)
• Индексируется в Web of Science

Библиографическая запись: Молчанов, А. С. Коммерциализация методики определения элементного состава примесей на поверхности твердого тела с использование ядерных реакций: [Электронный ресурс] / А. С. Молчанов // Вектор экономики. – 2019. – №6. – С. 1-10.