Изучение электрофизических параметров пленок окислов титана применяемых при формировании мемристорных структур

Статья в журнале

Исследованы электрофизические свойства пленок диоксида титана, полученных магнетронным распылением мишени из титана стехиометричного (TiO2) и нестехиометричеого (TiOx) составов, используемых для создания мемристорных элементов энергонезависимой памяти. Показано, что нестехиометриченые пленки TiOx имеют более высокую проводимость. В структурах с двухслойным диэлектриком TiO2-TiOx электрическая прочность определяется прочностью пленок TiO2. Значения диэлектрической проницаемости пленок TiO2 и TiOx существенно различаются.

Журнал:

Доклады Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)

Библиографическая запись: Изучение электрофизических параметров пленок окислов титана применяемых при формировании мемристорных структур / П. Е. Троян [и др.] // Доклады Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники. – 2015. – №4 (38). - С. 64–67.

Ключевые слова:

ПЛЕНКИ ОКИСЛА ТИТАНА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ

Индексируется в:

Авторы: Троян П. Е., Нагайчук С. Г., Аргунов Д. П., Змановский П. А., Пилипец И. В.

Научный руководитель: Троян П. Е.

Год издания: 2015

Страницы: 64 - 67

Язык: Русский

DOI: DOI не указана