Мониторинг масс-зарядового состава пучковой плазмы модернизированным квадрупольным анализатором в форвакуумной области давлений
Статья в журнале
Представлена конструкция и принцип работы модернизированного квадрупольного анализатора остаточной атмосферы. Модернизация анализатора заключалась в замене ионизатора устройства на извлекающий ионы узел. Учитывая особенности генерации пучковой плазмы и специфику форвакуумного диапазона давлений данная замена в сочетании с подачей на коллектор электронного пучка положительного относительно земли потенциала позволила проводить мониторинг масс-зарядового состава такой плазмы. Показаны результаты исследований масс-зарядового состава ионов пучковой плазмы различных газов, генерируемой непрерывным электронным пучком с током порядка 30 мА при давлении в области его распространения до 10 Па. Установлено, что в пучковой плазме генерируемой форвакуумным электронным источником наблюдаются только однократно ионизованные атомы напускаемых и остаточных газов независимо от энергии и тока электронного пучка.
Журнал:
- Прикладная физика
- АО "НПО "Орион" (Москва)
Библиографическая запись: Тюньков, А. В. Мониторинг масс-зарядового состава пучковой плазмы модернизированным квадрупольным анализатором в форвакуумной области давлений / А. В. Тюньков, Ю. Г. Юшков, А. С. Климов // Прикладная физика. – 2016. – №1. – С. 96–99
Ключевые слова:
ПЛАЗМЕННЫЙ ИСТОЧНИК ЭЛЕКТРОНОВ ФОРВАКУУМНАЯ ОБЛАСТЬ ДАВЛЕНИЙ ДИАГНОСТИКА ПУЧКОВОЙ ПЛАЗМЫ МАСС-ЗАРЯДОВЫЙ СОСТАВ ИОНОВ ПЛАЗМЫИндексируется в: