ВЛИЯНИЕ СОСТАВА РАБОЧЕГО ГАЗА НА МАСС-ЗАРЯДОВЫЙ СОСТАВ ИОНОВ ПУЧКОВОЙ ПЛАЗМЫ ПРИ ИСПАРЕНИИ YSZ МИШЕНИ ЭЛЕКТРОННЫМ ПУЧКОМ

Статья в журнале

Представлены результаты по исследованию масс-зарядового состава ионов пучковой плазмы, генерируемой при испарении твердотельной керамической мишени диоксида циркония частично стабилизированного оксидом иттрия в среде инертных и химически активного газов электронным пучком в форвакуумном диапазоне давлений. Мониторинг масс-зарядового состава ионов пучковой плазмы осуществлялся с использованием модернизированного масс-анализатора остаточной атмосферы RGA-300. Показано влияние состава рабочего газа на масс-спектры ионов материала испаряемой мишени.

Журнал:

• ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
• АО "НПО "Орион" (Государственный научный центр Российской Федерации) . (Москва)

Библиографическая запись: Влияние состава рабочего газа на масс-зарядовый состав ионов пучковой плазмы при испарении YSZ мишени электронным пучком / А. В. Тюньков, А. А. Андронов, Д. Б. Золотухин [и др.] // Прикладная физика. – 2025. – № 1. – С. 24-30. – DOI 10.51368/1996-0948-2025-1-24-30.

Индексируется в:

• ВАК ( https://www.elibrary.ru/item.asp?id=80456149 )
• Scopus ( https://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-105015329159&partnerID=MN8TOARS )