Газоразрядные генераторы высокой частоты для обработки материалов

Статья в журнале

Впервые разработан метод выделения высокочастотных колебаний из плазмы высоковольтного тлеющего разряда. Метод основан на возникновении пульсаций давления при взаимодействии струи напускаемого рабочего газа с преградой. Пульсации давления создают пространственную неоднородность концентрации плазмы высоковольтного тлеющего разряда (14 кВ, 30 мА), что вызывает нестабильность горения разряда. Разница напряжения зажигания и горения разряда вкладывается в ионизационные процессы и сверхвысокочастотные (СВЧ) колебания, которые выделяются индуктивно-емкостным контуром на частоте 5 МГц. Доля мощности, переведенная в СВЧ-колебания, достигает 40 %. Апробация генератора при травлении ниобата лития показала, что поверхностный заряд с подложки снимается плазмой, а также за счет токов смещения и перезарядки. Скорость травления достигает 5 мкм/ч.

Журнал:

  • Известия вузов. Физика
  • Национальный исследовательский Томский государственный университет (Томск)

Библиографическая запись: Газоразрядные генераторы высокой частоты для обработки материалов: [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов [и др.] // Известия вузов. Физика. – 2019. – №11 (62). – С. 101-194. – DOI: 10.17223/00213411/62/11/101

Индексируется в:

Год издания:  2019
Страницы:  101 - 194
Язык:  Русский
DOI:  10.17223/00213411/62/11/101