Ионно-плазменные технологии изготовления микро- и наноструктур (ГПО 2)

28.03.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике)

Очная форма обучения, план набора 2016 г.

Изучается: 5 семестр

Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)

Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.5.2

Обеспечивающая кафедра: Кафедра физической электроники

Дополнительная литература

Зондовые нанотехнологии в электронике / В.К. Неволин. – М.: Техносфера, 2005. – 147 с.
Доступно в библиотеке: 9 экземпляров
Нанотехнологии в электронике: Монография / Н.И. Боргардт и др. ред. Ю.А. Чаплыгин. Московский государственный институт электронной техники. – М.: Техносфера, 2005. – 446 с.
Доступно в библиотеке: 20 экземпляров
Основы наноэлектроники: Учебное пособие для вузов / В.П. Драгунов, И.Г. Неизвестный, В.А. Гридчин. – 2-е изд., исп. и доп. – Новосибирск: НГТУ, 2004. – 494 [2] с.
Доступно в библиотеке: 20 экземпляров
Аксенов А.И., Окс Е.М., Злобина А.Ф. Вакуумная и плазменная электроника: Учебное пособие. – Томск: ТУСУР, 2007. – 164 с.
Доступно в библиотеке: 101 экземпляр

Учебно-методическое пособие

Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине «Физика низкоразмерных структур»: к самостоятельной работе / М.М. Симунин. Министерство образо-вания и науки Российской Федерации, Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (М.). – М.: МИЭТ, 2011. – 128 с.
Доступно в библиотеке: 1 экземпляр

Контрольные испытания

Вид контроля Семестры
Дифференцированный зачет 5

Объем дисциплины и виды учебной деятельности

Вид учебной деятельности 1 семестр 2 семестр 3 семестр 4 семестр 5 семестр 6 семестр 7 семестр 8 семестр Всего Единицы
Практическая работа108108часов
Всего аудиторных занятий108108часов
Из них в интерактивной форме1010часов
Самостоятельная работа108108часов
Общая трудоемкость216216часов
66З.Е

Компетенции

Код Содержание
ПК-3 готовностью анализировать и систематизировать результаты исследований, представлять материалы в виде научных отчетов, публикаций, презентаций
ПК-8 готовностью использовать базовые технологические процессы и оборудование, применяемые в производстве материалов, компонентов нано- и микросистемной техники
ПК-10 готовностью работать на современном технологическом оборудовании, используемом в производстве материалов и компонентов нано- и микросистемной техники