Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

28.03.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике)

Очная форма обучения, план набора 2016 г.

Изучается: 4 семестр

Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)

Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.4

Обеспечивающая кафедра: Кафедра физической электроники

Дополнительная литература

Розанов Л.Н. Вакуумная техника. - М.: ВШ, 1990. - 320 с.
Доступно в библиотеке: 4 экземляра
Вакуумная техника. Справочник. Под ред. Е.С. Фролова, В.Е. Минайчева. - М.: Машиностроение, 1985. - 360 с.
Доступно в библиотеке: 10 экземпляров

Контрольные испытания

Вид контроля Семестры
Экзамен 4

Объем дисциплины и виды учебной деятельности

Вид учебной деятельности 1 семестр 2 семестр 3 семестр 4 семестр 5 семестр 6 семестр 7 семестр 8 семестр Всего Единицы
Лекция3636часов
Практическая работа1818часов
Лабораторная работа1616часов
Всего аудиторных занятий7070часов
Из них в интерактивной форме88часов
Самостоятельная работа3838часов
Всего (без экзамена)108108часов
Подготовка и сдача экзамена/зачета3636часов
Общая трудоемкость144144часов
44З.Е

Компетенции

Код Содержание
ПК-8 готовностью использовать базовые технологические процессы и оборудование, применяемые в производстве материалов, компонентов нано- и микросистемной техники
ПК-9 готовностью использовать базовое контрольно-измерительное оборудование для метрологического обеспечения исследований и промышленного производства материалов и компонентов нано- и микросистемной техники
ПК-10 готовностью работать на современном технологическом оборудовании, используемом в производстве материалов и компонентов нано- и микросистемной техники