Вакуумная и плазменная электроника

28.03.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике)

Очная форма обучения, план набора 2016 г.

Изучается: 5 семестр

Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)

Индекс дисциплины: Б1.Б.17.2

Обеспечивающая кафедра: Кафедра физической электроники

Основная литература

Дополнительная литература

Окс Е.М. Источники электронов с плазменным катодом: физика, техника, применения : монография ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство научно-технической литературы, 2005. – 212 с..
Доступно в библиотеке: 5 экземпляров
Окс Е.М. Основы физики низкотемпературной плазмы. Методическое пособие. – Томск: ТУСУР, 1997. - 87 с. .
Доступно в библиотеке: 26 экземпляров
Соболев В.Д. Физические основы электронной техники: Учебник для ВУЗов.- М.: Высшая школа, 1979. – 448 с.
Доступно в библиотеке: 42 экземляра
Фридрихов С.А., Мовнин С.Н. Физические основы электронной техники: Учебник для ВУЗов .-М.: Высшая школа, 1982. – 608 с.
Доступно в библиотеке: 18 экземпляров

Учебно-методическое пособие


Контрольные испытания

Вид контроля Семестры
Зачет 5

Объем дисциплины и виды учебной деятельности

Вид учебной деятельности 1 семестр 2 семестр 3 семестр 4 семестр 5 семестр 6 семестр 7 семестр 8 семестр Всего Единицы
Лекция3636часов
Практическая работа1818часов
Лабораторная работа1212часов
Всего аудиторных занятий6666часов
Из них в интерактивной форме1414часов
Самостоятельная работа7878часов
Общая трудоемкость144144часов
44З.Е

Компетенции

Код Содержание
ОПК-5 способностью использовать основные приемы обработки и представления экспериментальных данных
ПК-2 готовностью проводить экспериментальные исследования по синтезу и анализу материалов и компонентов нано- и микросистемной техники