Сайты ТУСУРа

Физические основы электронно-ионно-лучевых и плазменных технологий, 2018

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 03.06.01 Физика и астрономия

Профиль: Физическая электроника, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2015 года

Кафедра физической электроники


Автор:   Троян П. Е.
Год издания: 2018

Основная литература

Дополнительная литература

Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учебное пособие / Т. И. Данилина, С. В. Смирнов ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУР, 2000. - 140 с.
Доступно в библиотеке: 52 экземляра

Учебно-методическое пособие

Сборник задач и расчетов по физической электронике : учебное пособие для вузов / С. М. Левитский. - Киев : Издательство Киевского университета, 1964. - 210[2] с. (пособие используется для практических занятий и самостоятельной работы)
Доступно в библиотеке: 14 экземпляров

Физическая электроника в задачах : сборник задач / Б. Н. Швилкин, Н. А. Мискинова. - М. : Наука, 1987. - 253[3] с. (пособие используется для практических занятий и самостоятельной работы)
Доступно в библиотеке: 4 экземляра


Дисциплины

+

Физические основы электронно-ионно-лучевых и плазменных технологий

Направление подготовки (специальность): 03.06.01 Физика и астрономия

Профиль: Физическая электроника

Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.1.1

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 2

Семестр: 3

Учебный план набора 2015 года