Сайты ТУСУРа

Приборно-технологическое моделирование, 2018

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Твердотельная электроника, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2017 года (План в архиве)

Кафедра физической электроники


Автор:   Сахаров Ю. В.
Год издания: 2018

Основная литература

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем [Текст] : учебное пособие для вузов: в 2 ч. / ред. Ю. А. Чаплыгин. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012 - . - (Электроника). - ISBN 978-5-94774-538-2
Доступно в библиотеке: 35 экземпляров

Электроника и микроэлектроника. Физико-технологические основы : Учебное пособие для вузов / А. А. Барыбин. - М. : Физматлит, 2006. - 423[1] с
Доступно в библиотеке: 130 экземпляров

Моделирование и визуализация средствами MATLAB физики наноструктур : учебное пособие для вузов / И. В. Матюшкин. - М. : Техносфера, 2011. - 168 с.
Доступно в библиотеке: 15 экземпляров

Дополнительная литература

Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Томск : ТУСУР, 2005. - 316 с.
Доступно в библиотеке: 103 экземляра

Технология кремниевой наноэлектроники: учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - 2-е изд. - Томск : ТУСУР, 2015. - 319 с
Доступно в библиотеке: 30 экземпляров

Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование / М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 397 с. : ил. - ). - Библиогр.: с. 397. - ISBN 978-5-94774-336-4
Доступно в библиотеке: 10 экземпляров

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Нанотехнологии) - Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 392 с
Доступно в библиотеке: 45 экземпляров

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - 2011. - (Нанотехнологии). - Т. 2 : Технологические аспекты / М. В. Акуленок, В. М. Андреев, Д. Г. Громов. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011. - 252 с.
Доступно в библиотеке: 45 экземпляров

Учебно-методическое пособие


Дисциплины

+

Приборно-технологическое моделирование

Направление подготовки (специальность): 11.04.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Твердотельная электроника

Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.4.1

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 1

Семестр: 2

Учебный план набора 2017 года

План в архиве