Методические указания к лабораторной работе
Исследование процесса ионной обработки материалов = Технология приборов оптической электроники и фотоники: методические указания к лабораторной работе для студентов направления «Фотоника и оптоинформатика» / Л. Н. Орликов; Министерство образования и науки Российской Федерации, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск: ТУСУР, 2012. - 17 с. Целью настоящей работы является изучение процесса ионной обработки материалов, выяснение механизма ионного травления, расчеты параметров ионного травления.
Библиографическая запись:
Орликов, Л. Н. Исследование процесса ионной обработки материалов: Методические указания к лабораторной работе [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2012. — 17 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/1541
Оглавление (содержание)
Содержание
1 Введение
2 Теоретическая часть
2.1. Модели ионного распыления
2.2 Эффективность ионного распыления
2.3 Скорость распыления материалов
2.4 Влияние рода газа на травление
2.5 Скорость осаждения пленок при ионном распылении
2.6 Вольт-амперная характеристика газоразрядного устройства для
обработки материалов
2.7 Контрольные вопросы
3 Экспериментальная часть
3.1 Вакуумное оборудование
3.2 Электронное оборудование
3.3 Порядок выполнения работы и методические указания
3.4 Вопросы для самопроверки
3.5 Содержание отчета
Список литературы