Методические указания к лабораторной работе
Целью настоящей работы является изучение методов распыления в электрическом и магнитном поле (магнетронное распыление) и приемов работы на установках технологического назначения, ознакомление с принципами действия и основными характеристиками аппаратуры, применяемой для контроля технологических операций. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Фотоника и оптоинформатика» по курсу «Основы технологии оптических материалов и изделий».
Библиографическая запись:
Орликов, Л. Н. Исследование процесса нанесения пленок магнетронным способом: Методические указания к лабораторной работе [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2012. — 23 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/1340
Оглавление (содержание)
1 Введение
2 Основные вопросы теории
2.1 Особенности существования магнетронного разряда и принципиальная
схема магнетрона
2.2 Параметры магнетронных распылительных систем
2.3 Параметры плазмы
2.4 Магнитное поле магнетрона
2.5 Вольт-амперные характеристики магнетронных систем
2.6 Особенности конденсации ионнораспыленных атомов
2.7 Конструктивные схемы магнетронных систем
2.8 Геометрические параметры магнетронных систем
3 Экспериментальная часть
3.1 Вакуумное оборудование
3.2 Электронное оборудование
3.3 Порядок выполнения работы и методические указания
3.4 Вопросы для самопроверки
3.5 Содержание отчета
4 Рекомендуемая литература